تحديد المواقع موجه الميزة (FOP) [1] هو أسلوب للحركة الدقيقة لـ مجهر المسح للسطح قيد الفحص. بهذا الأسلوب تستخدم ميزات السطح كنقاط مرجعية (نقاط لأداة الفحص ). وفي الواقع يختلف تحديد المواقع موجه الميزة (FOP) قليلاً عن المسح موجه الميزة (FOS). فتحديد المواقع موجه الميزة (FOP) لا يتطلب أي صور طبوغرافية لمنطقة السطح. بدلاً من ذلك فإن حركة التحقق بواسطة ميزات السطح تنفذ فقط من نقطة البدء (أ ) (جوار ميزة البدء) إلى النقطة المقصودة (ب) (جوار ميزة الوجهة المقصودة ) على طول بعض الطرق التي تمتد من خلال ميزات وسط السطح ، و يمكن أيضاً أن يشار إلى هذا الأسلوب تحت أسم آخر – تحديد المواقع موجه الهدف (OOP).